激光氧分析儀可調諧激光光譜技術，其原理是激光束吸收目標氣體，當激光的波長與被測氣體分子的波長一致時，激光束的能量會被吸收，利用探測器得到經被測氣體吸收后的激光強度，得到氣體吸收光譜，通過對光譜的分析可以得到被測氣體濃度，激光光譜不受背景氣體中酸性和堿性氣體影響，測量光腔室的耐腐性的特點，很多復雜環境測量氧含量測量提供低成本設備。按照安裝方式分為原位式和抽取式兩種，原位式是將激光發射模塊和傳感器模塊直接安裝在過程管道上，通過簡單的采樣預處理系統直接對管道內被測氣體進行在線分析。而抽取式是通過取樣單元將被測氣體抽出來后進行分析監測。