1.電解法：五氧化二磷傳感器利用電解水分子為氫氣與氧氣原理。此傳感器由一個玻璃材質的圓柱和兩根并行的電極組成，根據具體應用來選擇電極材質（通常由鉑或銠金屬絲制成），并在兩根電極之間涂有很薄的一層磷酸H3PO4，在兩電極之間出現的電解電流，使酸中的水分分解為H2和O2。此過程的最終產物是五氧化二磷，P2O5是高吸濕性物質，因此從樣氣中吸收水分，通過連續的電解過程，樣氣的水分含量與電解后的水分是應該是平衡的。電極電流與樣氣中水分含量成比例，信號經過儀器內部信號放大器處理，然后顯示并數據讀出。此原理用來測量所有氣體。包括Cl2、HCl 、H2S、H2SO4 、HBr、SO2 、SF6 、CO2等氣體和全部惰性氣體，極少數會同磷酸發生化學反應的氣體除外。P2O5探頭適用于測量各種惰性氣體、碳氫化合物或根據所選擇的探頭材質應用于HCl、Cl2或SO2等腐蝕性氣體中。探頭與樣氣接觸的材料可以是玻璃、鉑或銠，其他材質也可以提供。
2.阻容法（電容法）：利用一個高純鋁棒，表面氧化成一層超薄的氧化鋁薄膜，其外鍍一層多空的網狀金膜，金膜與鋁棒之間形成電容，由于氧化鋁薄膜的吸水特性，導致電容值隨樣氣水分的多少而改變，測量該電容值即可得到樣氣的濕度。
3.冷鏡法：讓樣氣流經露點冷鏡室的冷凝鏡，通過等壓制冷，使得樣氣達到飽和結露狀態（冷凝鏡上有液滴析出），測量冷凝鏡此時的溫度即是樣氣的露點。
4.光纖法：光纖濕度傳感器的表面為具有不同反射系數的氧化硅和氧化鋯構成的層疊結構，通過先進的熱固化技術，使傳感器表面的孔徑控制在0.3nm, 0.28nm的水分子可以滲入。控制器發射出一束790－820nm的近紅外光，通過光纖電纜傳送給傳感器，進入到傳感器的水分子會改變光的反射系數，從而引起波長的變化，該變化量與介質的水分含量成相應的比例關系。通過測量接收到的光的波長，就可以得到介質的露點及水分含量。
